碳酰氟

用于生产氟塑料等的化合物

条目

历史版本

碳酰[xiān]氟[fú]是高毒刺激性气体，对皮肤及呼吸道粘膜具有强烈的刺激作用。可用于半导体制造装置的清洗气和刻蚀气，有机化合物的氟化气和原料以及有机合成的中间体、氟化剂，作为半导体制造装置用的清洗气需要高纯度的COF2。

毒理学资料

急性毒性：LC50：270mg/m，4小时(大鼠吸入)；972mg/m，1小时(大鼠吸入)

废弃处置方法：根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系，确定处置方法。