真空计
测量低于大气压气体总压力的仪表
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历史版本
真空计按其刻度方法的不同，可分为绝对真空计和相对真空计两种。[1]按照测量原理可分为基于力平衡原理的力式真空计；基于压缩作用原理的麦式真空计；基于气体热传导原理的热导式真空计，包括电阻式真空计和热电偶式真空计；基于电离作用原理的热阴极式真空计、冷阴极式真空计等。[3]
正文
用于测量低于大气压的稀薄气体总压力的仪表，又称真空规。真空计的测量单位沿用压力测量单位，压力的国际单位为帕(Pa)，曾使用的单位还有托(Torr)和毫巴(mbar)等。
简史 自1643年意大利物理学家E.托里拆利进行大气压力实验以来，先后出现许多种真空计。最早出现的是Ｕ形管真空计，它只能用来测量粗真空和低真空。1874年,H.G.麦克劳发明的压缩式真空计，解决了低真空和高真空的绝对压力的测量，但仍不能进行连续测量。1906年，M.皮喇尼发明电阻式真空计，解决了工业生产中的低真空测量问题。继而，O.E.巴克利于1916年又发明电离真空计,这在当时不仅解决了10-1～10-5帕的高真空测量，而且促进了油扩散泵等真空设备的发展和应用。1937年，F.M.潘宁发明冷阴极电离真空计，适用于有大量放气和经常暴露于大气的真空设备的测量，所以在真空冶金和机械工业中得到广泛应用。1950年，R.T.贝阿德和D.A.阿尔伯特发明BA式电离真空计，解决了10-8帕的超高真空测量问题，从而使真空测量获得了突破，并推动了超高真空技术的发展；而与此有关的表面物理、核能、航天和大型集成电路等科学技术也得到了迅速发展。1960年以来，相继研制成功的调制规、抑制规、弯注规、分离规和磁控式电离规等已能实现10-11帕左右的超高真空测量。