掠射角沉积

掠射角沉积
掠射角沉积，glad（Glan gcin 是一种获得专利的薄膜沉积的过程。

正文

掠射角沉积，glad（Glangcing Angle Deposition),又可称为 倾斜角沉积。
是一种获得专利的薄膜沉积的过程。由M. Brett and K. Robbie在1998年共同提出，并一起实现的沉积薄膜技术。主要原理是吸附原子扩散和核子的影蔽效应。可以制备出形貌可控的薄膜。